Томичи разрабатывают оборудование для Национального центра ядерных исследований Польши

Опубликовано 12.12.2013 г.

Инновационное предприятие «Микросплав» совместно с Институтом сильноточной электроники СО РАН разработало уникальное оборудование, которое позволит одновременно имплантировать и устранять дефекты при производстве материалов для микроэлектроники.

Источник: innoros.ru

Весной 2013 года компания «Микросплав» заключила договор с Национальным центром ядерных исследований Польши на разработку имплантера многозарядных ионов, совмещенного с импульсным электронным пучком. На сегодняшний день команда проекта уже завершила первую стадию — разработку конструкторской документации. Теперь сотрудники «Микросплава» совместно с сотрудниками ИСЭ СО РАН приступили к этапу изготовления и сборки оборудования, который продлится до конца мая 2014 года. После этого заказчики из Польши приедут в Томск, чтобы протестировать оборудование и посмотреть его в работе, затем оно будет транспортировано в Варшаву.

«Оборудование еще не имеет торгового названия», — рассказывает директор компании «Микросплав», кандидат физико-математических наук Алексей Марков. — Мы создаем его на базе совместных разработок с Институтом сильноточной электроники, оборудование не имеет ни российских, ни зарубежных аналогов.

Имплантер, разработанный томскими учеными, будет использоваться при производстве материалов для микроэлектроники: электронный пучок позволяет «отжигать» дефекты, возникающие при имплантации полупроводниковых пластин. При этом отжигается только поверхность: целиком пластина не нагревается, а значит, и не деградирует.

Как подчеркнул Алексей Марков, факт заключения российско-польского договора является значимым событием не только для компании и Института, но и для Томской области в целом, поскольку Национальный центр ядерных исследований является одной из самых крупных научно-исследовательских организаций Польши.

Для справки

Компания «Микросплав» занимается разработкой и производством оборудования и технологий на основе интенсивных импульсных электронных пучков для полировки поверхности металлических материалов. Технологии компании применяются для придания нужных свойств поверхности электродов вакуумных приборов, медицинских игл или зубных протезов, и т.п.