Магнетронный источник для напыления материалов в вакууме

договорная Производитель: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)

Технические характеристики

напряжение питания - от 500 до 3000 Вольт; рабочий ток - от 0,1 до 5 Ампер; скорости нанесения - от 2 до 100 нанометров/минуту.

Потребительские свойства

Преимуществом данного источника является относительная дешевизна метода при большом многообразии распыляемых материалов.

Коммерческая информация

договорная

Конкурентные преимущества

Аналоги магнеронов есть, однако некоторые технические решения не имеют аналогов.

Наличие испытаний

Правовая защита технологических решений