Плазменная установка для осаждения теплоотражающих покрытий на поверхность стекла «ОПАЛ-5»

Цена договорная Производитель: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (НИ ТПУ)

Подробное описание

Установка «Опал-5» представляет собой проходную машину с загрузочной и разгрузочной шлюзовыми камерами. У неё два щелевых затвора, дифференциальная откачка на входе и выходе. Стекло в вертикальном положении движется в один слой мимо магнетронных источников плазмы, расположенных в индивидуальных рабочих камерах. 

Установка обладает следующими характеристиками: 
Вертикальное расположение листов стекла в процессе обработки. Оно обеспечивает следующие преимущества: 
  • исключает загрязнение стекла твёрдыми частицами с поверхности мишени магнетронов; 
  • упрощает удаление твёрдых частиц при ионной обработке (очистке) поверхности; 
  • способствует концентрированию загрязняющих наслоений в нижней части рабочей камеры, что упрощает их удаление при профилактическом обслуживании. 

Установка «Опал-5» имеет следующую структуру: 
шлюзовая камера ⇒ щелевой вакуумный затвор ⇒ камера выравнивания скоростей⇒ камера выравнивания скоростей⇒откачная камера⇒рабочая камера (ионный источник)⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон) ⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон)⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон)⇒откачная камера ⇒рабочая камера с тремя планарными магнетронами ⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон) ⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон) ⇒откачная камера⇒рабочая камера (сдвоенный магнетрон) ⇒камера выравнивания скоростей ⇒ камера выравнивания скоростей ⇒щелевой вакуумный затвор ⇒ выходная шлюзовая камера.

 Примечание: стрелка обозначает направление движения стекла из каждого корпусного элемента.

Особенности технологии производства

Установка удовлетворяет всем требованиям правил охраны труда и техники безопасности. Установка имеет все минимально необходимые виды защит от внешних воздействий, средства контроля технологического процесса, автоматическую систему управления на базе программируемых логических контроллеров и персонального компьютера.

Технические характеристики

  • Максимальный размер обрабатываемого стекла (1605 х 2250 мм); 
  • Число магнетронов на постоянном токе (3 шт.); 
  • Число сдвоенных магнетронов (6 шт.); 
  • Число ионных источников (2 шт.); 
  • Скорость движения каретки со стеклом (2-80 мм/с); 
  • Максимальное остаточное давление газа (6 * 10-3 Па); 
  • Длина магнетронов (1950 мм); 
  • Предельная неравномерность осаждённой плёнки по длине магнетрона ((+/-) 2%); 
  • Пример структуры наносимого теплоотражающего покрытия (TiO2 (или SnO2) – (Ni,Cr) – Ag – (Ni,Cr) – TiO2 (или SnO2)); 
  • Производительность при осаждении теплоотражающих покрытий (50 м2/час); 
  • Производительность при осаждении тонирующих покрытий (60 м2/час); 
  • Расход рабочего газа (60 л/час); 
  • Напряжение питания ионного источника (1 – 3,5 кВ); 
  • Ток ионного источника (0,1 – 2,0 А); 
  • Максимальная мощность магнетронов (25 кВт); 
  • Максимальная потребляемая мощность (200 кВт); 
  • Занимаемая площадь (250 м2).

Потребительские свойства

Установка может быть собрана по принципу аддитивности, т.е. допускать возможность запуска в эксплуатацию в неполной комплектации, расширения набора функциональных характеристик, увеличения производительности и т.д. простым дополнением рабочих элементов или развития системы управления.

Конкурентные преимущества

  1. Наличие шлюзовой камеры со специальным щелевым вакуумным затвором, которая позволяет извлекать изделия из установки, не теряя вакуума в рабочей камере. 
  2. Установки предполагают использование ионных источников для очистки поверхности изделий перед нанесением модифицирующих покрытий. 
  3. Наличие системы автоматического управления на основе программируемого контроллера и ПК, которая позволяет выполнять процесс в полуавтоматическом режиме с минимальным участием оператора.

Правовая защита технологических решений