Прибор неразрушающего контроля «SemiCon - 1» настольного типа

Производитель: ООО «СемиКон»

Подробное описание

Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon 1», предназначен для автоматизированного бесконтактного и экспрессного измерения времени жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ), удельного сопротивления и типа проводимости полупроводников.


Прибор неразрушающего контроля «SemiCon-1» применяется : 
  • в полупроводниковой промышленности - снижение брака при производстве полупроводниковых материалов; 
  • на заводах изготовителях поли- и монокристаллического кремния на этапе выходного контроля характеристик, на входном контроле характеристик поли - и монокристаллических пластин кремния при производстве приборов на их основе; 
  • при научном исследовании электрофизических характеристик поликристаллического кремния при доработке технологии его получения; в учебном процессе - обучение студентов в ВУЗах

Особенности технологии производства

Измерение удельного сопротивления и времени жизни ННЗ полупроводников в приборе производится бесконтактным СВЧ – резонаторным методом.

Технические характеристики

  • Диапозон измерения удельного сопротивления , Ом*см - от 5*10-2 до 5*10-4 
  • Диапозон измерения времени жизни ННЗ, с - от 1*10-6 до 1*10-3 Определение типа проводимости - «n» / «р» 
  • Диапозон удельного сопротивления измеряемых образцов для кремния при определении типа проводимости, Ом*см - 5*10-1 - 5*10-5 
  • Пределы допускаемой абсол. погрешности измерения времени жизни ННЗ,% - ±5 
  • Пределы допускаемой абсол. погрешности измерения температуры образцов, % - ±5 
  • Время установления рабочего режима, м - 20 
  • Время неприрывной работы прибора, ч - 8

Конкурентные преимущества

Возможность одновременного и бесконтактного измерения удельного сопротивления, времени жизни неравновесных носителей заряда и типа проводимости в рамках одного прибора

Правовая защита технологических решений