Технологический комплекс для электронно-лучевой обработки материалов в форвакууме

договорная Производитель: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)

Технические характеристики

Разработан универсальный электронный источник, работающий в форвакуумном диапазоне давлений (5-15 Па), в двух режимах – импульсном и непрерывном


Непрерывный режим используется для сварки керамических изделий сложной формы. 
Параметры непрерывного режима: ускоряющее напряжение 2-25 кВ; мощность пучка - до 7кВт; диаметр свариваемых деталей до 50 мм; скорость сварки 1 мм/сек. В случае генерации импульсного электронного пучка происходит модификация поверхности керамики. 

Параметры источника в импульсном режиме: ток пучка до 100 А; длительность импульса 200 мкс; энергия в импульсе до 200 Дж.

Использование форвакуумного электронного источника устраняет проблему зарядки электронным пучком изолированной мишени, поскольку плазма, образующаяся в области транспортировки пучка, имеет плотность, достаточную для практически полной компенсации зарядки мишени электронным пучком. 

Отклонение электронного пучка от непроводящей мишени в этом случае не происходит, и вся энергия электронного пучка преобразуется в тепловую энергию облучаемого материала. Именно этот эффект открывает уникальную возможность импульсной электронно-лучевой обработки непроводящих диэлектрических материалов, в первую очередь различных высокотемпературных керамик.

Потребительские свойства

• сварка, плавка, размерная обработка металлов и их сплавов; 

• электронолучевой синтез керамических материалов; 
• сварка изделий из технической керамики; 
• сварка керамических деталей с металлом; 
• сварка кремниевых пластин элементов солнечных батарей; 
• электронно-лучевой нагрев и плавка керамических материалов; 
• полировка диэлектриков (зеркала, линзы и др.); 
• упрочнение тонких керамических поверхностей; 
• создание нанотрубок электронно-лучевым испарением графита; 
• поверхностная обработка металлов и диэлектриков; 
• оскидирование и анодирование.

Коммерческая информация

договорная

Конкурентные преимущества

  • возможность работы в импульсном и непрерывном режимах 
  • высокая концентрация ввода теплоты в изделие 
  • возможность сварки, спекания, размерной обработки как металлов, таки и диэлектриков (керамики) 
  • не требуется предварительная обработка стыков свариваемых деталей
  • возможность сварки, спекания керамических изделий сложной формы
  • электронно-лучевая сварка керамики с металлами 
  • простота и дешевизна конструкции комплекса 
  • не требует специальных средств защиты от рентгеновского излучения

Наличие испытаний

Правовая защита технологических решений