Вакуумный технологический комплекс «СПРУТ»

Производитель: ООО «ГРАДИЕНТ»

Подробное описание

Ионно-плазменная установка (комплектация и объем рабочей камеры – в зависимости от требований заказчика)

Технические характеристики

  • Внутренние размеры (объём) рабочей технологической вакуумной камеры – диаметр 1200 мм, высота 660 мм (0,7 м3); 
  • Предельное остаточное давление в вакуумной камере – 5×10-4 Па; 
  • Рабочее давление технологических процессов – 10-2-1 Па;
  • Материал вакуумной камеры - нержавеющая сталь; 
  • Общее количество технологических источников плазмы – 8; 
  • Количество электродуговых испарителей – 2; 
  • Количество магнетронно-распылительных систем – 4; 
  • Количество источников (генераторов) газовой плазмы – 2; 
  • Распыляемые материалы – Ti, Al, Mo, Si, C, S, Cu, Co, Sn, Fe, Cr, Ni, B и др.; 
  • Плотность плазмы, создаваемой в рабочем объёме вакуумной камеры – 108-1011 см-3; 
  • Рабочие газы – Ar, N2, O2, ацетилен и др.; 
  • Скорость нанесения покрытий – до 5 мкм/ч; 
  • Потребляемая мощность – до 100 кВт; 
  • Система вакуумной откачки – безмасляная с применением криогенного насоса.

Правовая защита технологических решений